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玻璃晶圓片

High Precision Glass Wafer

技術規格展示

參數 玻璃晶圓片規格
材料 玻璃、石英等
外徑 4”、6”、8”、12
外徑公差 +/-0.1mm
最小厚度 0.2mm(<6)、0.3mm(8)、0.35mm(12)
TTV <1μm
BOW <20μm
WARP <30μm
外觀 20-10
粗糙度 Ra<1nm
倒邊 45°,C0.2+/-0.1mm
鍍膜 增透膜、反射膜、分光膜等

* 備注:可以根據客戶需求定制


參數 玻璃晶圓片規格
材料 玻璃、石英等
外徑 4”、6”、8”、12
外徑公差 +/-0.1mm
最小厚度 0.2mm(<6)、0.3mm(8)、0.35mm(12)
TTV <1μm
BOW <20μm
WARP <30μm
外觀 20-10
粗糙度 Ra<1nm
倒邊 45°,C0.2+/-0.1mm
鍍膜 增透膜、反射膜、分光膜等

* 備注:可以根據客戶需求定制


用途

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